TS-100量产
①
"带我去看看你们的试制车间。"汇报会结束后,格卢什科夫对马林说。
车间位于主楼西侧的一栋旧厂房里。推开门,一股混杂着松香、金属切削液和混凝土粉尘的气味扑面而来。格卢什科夫看到,厂房原有的铸铁立柱被漆成了白色。头顶的天花板上,几组崭新的镀锌通风管道正在安装,工人们站在脚手架上,用扳手拧紧螺栓。厂房中央,几台扩散炉已经就位,深绿色的炉体上贴着"NII-35"的资产编号标签,但炉盖敞开,露出里面尚未铺设完全的陶瓷纤维内衬。
"这就是你们准备量产的地方?"格卢什科夫问。
"是……是的。"马林的声音有些发虚,"这里是第一试验区,计划改造成半自动生产线。那边——"他指向厂房深处用塑料布隔开的区域,"是准备建洁净室的,过滤器和送风机组已经到货了,但安装还需要两周。"
格卢什科夫走到最近的一台扩散炉前。炉膛口放着一叠手写记录纸,上面是密密麻麻的数字和曲线,记录着不同温区下的载流子浓度。字迹潦草,有些地方还涂改过。
"这是工艺记录?"
"这是……这是实验记录,格卢什科夫同志。"马林走上前,"目前的扩散参数还在优化,不同炉次的温度均匀性有波动,所以我们还在手动调整。"
"手动调整。"格卢什科夫重复了一遍。他拿起那叠纸,翻到背面,看到一张用铅笔画的草图,标注着"第7炉,T=1180°C,t=45min,结果尚可"。
"马林同志,"格卢什科夫放下记录纸,"你刚才在会议室里说,实验室的可用率是百分之四十。这百分之四十,有多少是靠你口中的'手动调整'、靠某个技师的经验手感碰出来的?"
马林没有回答。
"如果我们只是把实验室的手艺搬到这里,"格卢什科夫环视着这间半是工地、半是车间的厂房,"那这是无法量产的。"
一个穿蓝色工作服的矮壮男人从塑料布后面走出来,他自我介绍是试制车间的主任。
"格卢什科夫同志,"车间主任说,"我们需要明确的生产流程。科研人员把晶圆送来,说一声'按上次的参数做',可上次的参数写在哪里?写在某张纸的背面,写在某个工程师的笔记本里,写在他的脑子里。炉子不是科研仪器,炉子是用来生产的。生产需要的是工艺卡,是每一步的温度、时间、气体流量,是写在纸上、贴在炉子上、任何人来了都能照着执行的东西。"
"你说得对。"格卢什科夫说。他转向马林,"把你们实验室里所有关于TS-100的工艺参数整理成工艺规范。每一个步骤,每一个窗口尺寸,每一个扩散深度,都要有上限和下限。明白吗?"
"还有,"格卢什科夫继续说,"每一只从这里出去的芯片,都要经过严格的检验。没有军代表,不是用高标准要求自己的理由。"
马林张了张嘴,想说什么,但看到格卢什科夫的眼神,只是把话咽了回去,点了点头。
(1/3d)洁净与超纯物料
1 车间里还飘着煤灰
2~4 拿自来水冲一冲得了
5~7 白大褂,加过滤送风
8~9 晶体生长,避免扰动
0 更大的晶圆?
(2/3d)掩模与套刻
1 这简直就是在瞎搞嘛
2~4 套刻全凭眼神
5~7 接触式曝光要考虑磨损问题……
8~9 步进重复,成套母版
0 快进到自动化机械
(3/3d)扩散炉与工艺规范
1 能不能有点责任心?
2~4 每炉参数都不一样
5~7 照工艺卡执行
8~9 就是这样
0 快进到自动化机械